L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。

1、系统组成：a）扩散炉主机  b）推拉舟及层流净化台  c）气源柜  d）排毒柜  e）微机控制柜

2、扩散炉管数：1～4管/台

3、炉管内径：φ90㎜×240mm

4、恒温区长度：≤600mm±1℃（300～800℃）  ≤600mm±0.5℃（800～1250℃）

5、单点稳定性：±1℃/24h（300～800℃）    ±0.5℃/24h（800～1250℃）

6、气源路数：≤6路

7、气源控制：MFC或浮子流量计

8、推拉舟行程：最大1500mm

9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）± 3mm/min

10、推拉舟位置控制精度：≤3mm

11、冷却方式：水冷+风冷

12、微控部分采用STD总线功能模板

    a）主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件

    b）信号调理板：完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换

    c）人机界面板：接收键入信息管理，并配置9”液晶显示

    d）推拉舟接口板：输出推拉舟速度值，完成舟位置检测，输出推拉舟的运动指令

    e）MFC接口板：输出MFC设定值，将MFC的流量信息采入计算机

    f）可控硅控制及形状量输出板：完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能

    g）键盘：采用标准键盘或专用小键盘

    h）电源板（非STD总线板）

    i）可控硅触发板：完成可控硅的过零触发或移相触发驱动（非STD总线板）

    j）开关量驱动板：完成由STD总线板的数字信号（TTL电平）的转换、放大，用于驱动气路阀（非总线板）

    k）推拉舟驱动部分：接收总线板输出的推拉舟速状态指令，并将位置转换成标准信号输出，有手动自动转换

13、微机控制特点：

    a）工艺温度段数：1～14段，可选段运行

    b）单段时间范围：1～1080分钟/斜变段    1～9999分钟/恒温段

    c）三个温度测控回路独立修正温度测量值               d）三个温度测控点独立修正温度测量值

    e）PID参数，温度修正量可在线修改                      f）温度设定单位：℃   分辨率：0.1℃

    g）工艺段时间设定单位：min，分辨率：1min                h）各类工艺数据断电后长期保存

    i）工艺气体流量，推拉舟运动状态由微机实行闭环控制  j）中文显示各类提示信息

k）各类输入信息采用填表方式完成，条例清楚，逻辑合理