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X射线膜厚仪是针对高要求用户设计的,能够测量极精密的样品,如:微形部件或线路板上极微细的表面结构,它的新颖专利X-射线光学镜片,创新的X-射线光学原理,使这部仪器能产生非常小,但高辐射强度的测量点,所以,测量数十微米的面积的结构也变成可能。X射线膜厚仪配备了半导体接收器适合测量薄到数NM的镀层,还能测量出范围从元素氯(Z=13)至铀(Z =92)。X射线膜厚仪主要应用于线路板测试、极细的铅框一片片的扫描(指定面积),如:硬盘镀层、细微的线。有极高精度,可编程的XYZ测量台及大移动范围,测量室为长方形内槽设计,容许放入大面积的物件进行测量。
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