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薄膜测厚仪(薄膜厚度和光学常数测量系统)SGC-10

薄膜测厚仪(薄膜厚度和光学常数测量系统)

  • 价 格: 电议
  • 型号:SGC-10
  • 生 产 地:天津
  • 访问:1268次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

天津港东科技发展股份有限公司

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产品展示

SGC-10薄膜测厚仪,适用于介质,半导体,薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪,是我公司与美国new-span公司合作研制的,采用new-span公司先进的薄膜测厚技术,基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)。
  • 详细内容
  • 公司简介

   通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱,用相应的软件来拟合运算,得到单层或多层膜系各层的厚度d,折射率n,消光系数k。该设备关键部件均为国外进口,也可根据客户需要整机进口。

仪器特点

1  非接触式测量,用光纤探头来接收反射光,不会破坏和污染薄膜;

2  测量速度快,测量时间为秒的量级;

3  可用来测薄膜厚度,也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k;

4  可测单层薄膜,还可测多层膜系;

5  可广泛应用于各种介质,半导体,液晶等透明半透明薄膜材料;

6  软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数,可供用户参考;

7  内嵌微型光纤光谱仪,结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。

参数和性能指标

厚度范围: 20nm-50um(只测膜厚),100nm-25um(同时测量膜厚和光学常数n,k)

准确度:     <1nm或<0.5%

重复性:     0.1nm

波长范围: 380nm-1000nm

可测层数: 1-4层

样品尺寸: 样品镀膜区直径>1.2mm

测量速度: 5s-60s

光斑直径: 1.2mm-10mm可调

 

仪器成套性

测厚仪主体(内含光源和光纤光谱仪),光纤跳线,光纤探头,标准硅片,支撑部件,配套软件

可扩展性

通过光纤连接带有C口的显微镜,就可以使本测量仪适用于微区(>10um)薄膜厚度的测量。

 

强大的软件功能

界面友好,操作简便;

可保存测量得到的反射谱;

可读取保存的反射率数据;

可选择是否测量折射率n,消光系数k;

可选择光谱范围;

可猜测薄膜厚度以节省测量时间;

可从大量的材料库中选择薄膜和基底的材料;

用户可自己扩充材料库。

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天津港东科技发展股份有限公司(以下简称“公司”)成立于1999年,是一家专业从事物理实验仪器和现代分析仪器研发、生产和销售的高新技术企业(0712004A0996)。天津港东科技发展股份有限公司下属有两家控股子公司,一家分公司。自成立以来,秉承“以品质为保证,以自主创新为先导,为客户创造价值”的核心理念,稳健经营,积极进取,逐步迈向业界知名的现代化上市公司行列。 港东公司拥有完善的科研创新体系和一大批具有专业知识和高水平研发能力的教授、博士、博士后等组成的科研团队,在高等院校物理实验仪器与现代分析仪器领域的科研创新上取得了瞩目成绩,拥有众多知识产权和专利,获得多次多项科技奖以及科技型中小企业技术创新资金专项拨款。公司拥有激光拉曼光谱仪、椭圆偏振测厚仪、傅里叶变换红外光谱仪、单光子计数器等多项自主研发产品,其中迈克尔逊和法布里-珀罗两用干涉仪、自动椭圆偏振测厚仪、热膨胀实验装置等获得国家专利。傅里叶变换红外光谱仪、红外分光光度计、紫外可见分光光度计、荧光分光光度计等均获国家计量认证(计量器具许可证:津制00000544号)。 凭借经验丰富的管理团队、强大的研发能力以及辐射全国的销售和服务网络,港东公司已经为国内外数百家高等院校和广大企业客户提供了系统的实验设备和现代分析仪器。激光拉曼光谱仪、多功能光栅光谱仪、单光子计数器等十四项科技产品在“世行贷款高等教育改革项目”、“师范教育发展项目”中中标,产品在北京大学、清华大学、北京师范大学、浙江大学、复旦大学、上海交通大学、中国科技大学、南京大学、南开大学、天津大学、哈尔滨工业大学等全国各高等院校及化学、生化、材料、医药、石油等领域得到广泛应用并深受好评,现已远销美国、澳大利亚、印度等国家和地区。 港东公司拥有完善的管理体系,获得了ISO9001国际质量管理体系认证、CE认证,并在公司内部实行ERP项目管理制度,从产品开发、原材料采购、生产流程、质量控制、售后服务等各个环节切实提高产品质量,满足国内外客户的不同需要。 港东公司将继续致力于我国物理实验仪器和化学分析仪器产业的发展,以勤勉、务实的工作态度、精干、高效的工作作风和全方位的优质服务,努力创建成为现代化的国际知名企业。
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