划片机 切割机 分切机
J51152/ZF6英寸划片机主要技术规格:
硅片最大加工尺寸:Ø152.4mm (6")
x轴 (1)最大行程:200mm (2)工作行程范围:20~160mm (3)切割速度分两级: a)进给:0.1~70mm/s 回程:70mm/s b)进给:1~300mm/s 回程:300mm/s
y轴 (1)最大行程: 160mm (2)最小步进距离:0.002mm (3)最大步进距离:30mm/s (4)定位精度:0.003mm
z轴 (1)最大行程19mm(以Ø 50刀盘为准) (2)最小步矩0.002mm
θ轴:手动旋转:90˚±30"(可微调)
主轴转速范围:10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD对准系统设备尺寸mm(宽x深x高):约906x1020x740
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