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Peltier制冷型高真空溅射镀膜仪K575X

Peltier制冷型高真空溅射镀膜仪

  • 价 格: 请电询025-85432178元
  • 型号:K575X
  • 生 产 地:英国MITECH
  • 访问:331次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

南京覃思科技有限公司

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产品展示

K575X使用“涡轮”泵,前级为旋片式机械泵,整个抽真空过程为自动控制。真空度可调整,以适应铬或其它易氧化金属,以及金靶等不同材料要求,定时器可设置成不同的溅射时间。K575d(双头)其它与K575X相同,只是具有两个溅射头。在进行特殊涂层的应用时,不需要打开真空即可进行两层沉积溅镀。
  • 详细内容
  • 公司简介

K575X使用“涡轮”泵,前级为旋片式机械泵,整个抽真空过程为自动控制。
真空度可调整,以适应铬或其它易氧化金属,以及金靶等不同材料要求,定时器可设置成不同的溅射时间。
本系统装配了磁控管靶,靶面直径为54 mm,可快速更换靶材。
溅射头用Peltier制冷,可得到高性能、精细颗粒的涂层(无需水冷却)。
溅射时参数可预设,包括气体放气电磁阀。
K575d(双头)其它与K575X相同,只是具有两个溅射头。在进行特殊涂层的应用时,不需要打开真空即可进行两层沉积溅镀。
注:K575d技术规格与K575X相同,但它具有两头。K575X具有peltier制冷,对于比较厚的沉积,通常用K575d(双头)单元,它需要用水冷却。

特点

全自动控制
Peltier冷却溅射头
精细镀层(0.5nm Cr粒子)
可倾斜的特殊旋转台作为标准配置
薄膜沉积(典型为5nm)
直径为165mm腔室
可选双溅射头
可接膜厚测控仪

优点

可溅射易氧化金属精细颗粒,如:铬或铱
易操作
无需水冷却
超高分辨率,可复制涂层
适应各种样品
重复膜厚沉积
样品容易装载和卸载
不需要打开真空即可进行顺序涂层
沉积厚度可预设

技术规格

仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H
工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H
安全钟罩:聚碳酸酯
基座: 110 mm直径x 115mm高
重量:42公斤
靶:54 mm 直径 x 0.2mm 厚(铬作为标准靶材)
样品台:60mm直径,具有倾斜功能的旋转台
真空范围:ATM-1x10-5 mbar
操作真空:1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar
溅射电流:0-150mA
沉积速率:0-20nm/分
溅射定时: 0-4 分钟
涡轮分子泵:60 litres/Second (极限真空 1x10-8 mbar)
Services - Argon - Nominal 10 psi;
         Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas)
真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr
电源:230 伏 50Hz(包括泵最大电流为6安培)
      115 伏 60Hz(包括泵最大电流为12安培)


南京覃思科技有限公司是由原南京江南光学仪器厂资深光电仪器专家出资设立的一家从事光学、电子仪器销售与服务的专业公司。公司经营范围主要为:光学仪器;光电测量仪器;电子仪器;与仪器配套的计算机软硬件的销售、研发以及技术服务。公司具有多年行业经验,拥有良好的客户资源和技术能力,所销售的仪器质量和服务均为一流,在用户中口碑很好。
代理销售的产品为:“美国OGP”三坐标测量显微镜;“韩国MIRERO”扫描电子显微镜AIS2100(扫描电镜SEM);Delong USA Inc低压桌上型透射电镜LVEM5(LVTEM超小型台式透射电镜);“美国热电NORAN”X-RAY能谱仪;“英国EMITECH”电镜制样设备;“日本尼康(NIKON)”生物显微镜;“美国Maxwell”冷光仪(BL/CL法摩尔浓度仪、生物发光仪、化学发光检测仪);“德国莱卡(LEICA)”金相显微镜、其它工业显微镜;“日本拓普康(TOPCON)”色彩辉度计BM-7等系列、分光辐射度计SR-3;“英国雷尼绍(RENISHAW)”激光干涉仪、球杆仪;国产“江南牌(JN)”各类显微镜;“贵阳新天”万工显、投影仪、测长仪;以及与仪器配套的显微图象处理分析软件系统(含各种进口、国产CCD摄像头)DT-2000等,本公司是韩国MIRERO株式会社授权的扫描电子显微镜(扫描电镜SEM)中国总代理,同时还是“英国EMITECH”电镜制样设备、韩国SurfaceTech界表面张力\接触角测量仪中国总代理以及Delong USA Inc桌上型低压透射电镜LVEM5中国大陆代理商。本公司还承接各种显微镜的数字化改造。技术、质量、服务均为一流,在用户中口碑很好。
本公司一向坚持以“诚信经营、诚实服务”为立业宗旨,奉行“精研覃思、无微不至”的企业文化,公司将以更优秀的科技产品及服务回报社会,愿与社会各界竭诚合作,共同发展。
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