离心式清洗甩干机 清洗甩干机 甩干机 离心甩干机 离心式甩干机
HXS150S离心式清洗甩干机主要技术指标及性能:
1.1个工作室、2个工位(同时放置2个片盒)
2.硅片规格4″~8″
3.无级调速、最高还转速2500rpm
4.过滤器过滤精度:0.2μm
5.热氨(N2)烘干、温度40~50℃
6.具有去离子水电阻率检测功能,电阻率大于18MΩ
7.具有静电消除功能,以提高清洗质量及清洗效率。
8.液晶全中文显示、可编程控制、可存储10个工艺程序。
9.参数监控(电导率、工艺步骤、转子转速和时间显示) 及机内故障诊断。电路、水路隔离、漏电保护、急停按 钮、运行安全。
10.工作条件: 电源:220Vac50Hz 功率:2KW 净化空气:压力:0.6Mpa 流量:2m3/h 净化氢气:压力:0.5 Mpa流量:10m3/h 去离子水:压力:0.3Mpa过滤精度:0.2μm 流量:0.6m3/h
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