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离心式清洗甩干机HXS150S

离心式清洗甩干机

  • 价 格: 电议
  • 型号:HXS150S
  • 生 产 地:西安
  • 访问:1300次
  • 发布日期:2009/11/2(更新日期:1900/1/1)

捷盛电子技术有限责任公司

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离心式清洗甩干机一、用途:该设备主要用于集成电路生产中硅片的清洗甩干工艺。二、设备构成及特点:该设备由工作室、花篮(转子)、传动系统、气液系统及电气控制系统构成、工作室和花篮均由不锈刚作,电化学抛光;花篮经动平衡试验,保证设备运转平稳。
  • 详细内容
  • 公司简介

离心式清洗甩干机 清洗甩干机 甩干机 离心甩干机   离心式甩干机

HXS150S离心式清洗甩干机主要技术指标及性能:

1.1个工作室、2个工位(同时放置2个片盒)

2.硅片规格4″~8″

3.无级调速、最高还转速2500rpm

4.过滤器过滤精度:0.2μm

5.热氨(N2)烘干、温度40~50℃

6.具有去离子水电阻率检测功能,电阻率大于18MΩ

7.具有静电消除功能,以提高清洗质量及清洗效率。

8.液晶全中文显示、可编程控制、可存储10个工艺程序。

9.参数监控(电导率、工艺步骤、转子转速和时间显示) 及机内故障诊断。电路、水路隔离、漏电保护、急停按 钮、运行安全。

10.工作条件: 电源:220Vac50Hz 功率:2KW 净化空气:压力:0.6Mpa 流量:2m3/h 净化氢气:压力:0.5 Mpa流量:10m3/h 去离子水:压力:0.3Mpa过滤精度:0.2μm 流量:0.6m3/h

相关产品链接:HXS150S离心式清洗甩干机

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捷盛电子技术有限责任公司是由西北机器厂等多家法人投资,西北机器厂职工持股的高科技公司,位于西安高新技术产业开发区,公司依托西安的科技和人才优势,依靠开发区独特的环境和西部大开发的宏伟战略,致力于环境试验设备、微电子、半导体设备、电子专用设备等高科技成果的研究、生产、销售。公司现已发展为拥有微电子公司和环试厂两个子公司,拥有员工120余人,并控股西安捷运科技有限责任公司。拥有西安和西北机器厂两个生产品基地 。 服务信念---用户的需求,就是我们的责任 安装调试---设备到达后通知我们,我们将派工程师现场 调试,免调试费;并对用户进行现场培训 产品验收---按照国家标准,委托国家计量单位计量验 质量保证---产品从用户验收合格之日起有一年质保期 保修承诺---保修期从验收合格之日起12个月;保修期内正常出现故障,我们及时给予修复;保修期满以优惠价格提供终身服务,保证服务质量。
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