涡轮分子泵

产品特点
BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一，使用起来更加方便。OEM或有电源的最终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮，这可以降低成本。另外还具有如下优点：无油（涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染）；低维护（无轴承接触，无机械磨损）；低振动（比一般轴承的振动低一个数量级）；减少冷却（对许多应用来说自然冷却即可）；定位任意（可以安装在任意位置）。



技术指标
入口法兰 DN40NW, DN50NW, DN63CF or DN63ISO-K
压缩比
N2 〉1×108
He 6000
H2 500
出口法兰 DN16NW
前级泵（推荐） E2M0.7
出气口 ⅛ inch BSP 母
最大连续入口压力
15℃水冷 9×10-1 mbar
35℃风冷 9×10-2 mbar
30℃自然对流 9 ×10-3 mbar
额定转速 90000 rpm
工作转速 63000 rpm
90%转速启动时间 90s
冷却模式 自然对流、风冷、水冷
入口法兰最高温度 100℃
环境温度范围
自然对流 0-30℃
风冷 0-35℃
水温范围（水冷） 10-20℃
最小耗水量(15℃) 15 l h-1
工作姿态 垂直向上
1米噪音 〈50 dB（A）
最大磁场 5 mT
控制器（推荐） EXC100或EXC120
功率 10 W

入口法兰 DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K
抽速 (ls-1)
N2 52 60 65 65
He 53 56 60 60
H2 46 48 50 50
极限真空(mbar) 〈5×10-9 〈5×10-9 〈5×10-10 〈5×10-9
重量 (kg) 1.4 1.4 3.4 1.5