标题日本电子扫描电镜SEM影像的拍摄要点

    通过利用扫描电镜观察样品必须遵循：小倍率选区；高倍率放大；移动样品至适当位置，调焦；调亮度和反差至最佳；拍摄的过程。而且一般都是机器自动设定拍摄时间和扫描速度，进行影像拍摄，而且是逐点逐行地扫描拍摄，并不是一下子将整幅影像拍摄下来。针对扫描电镜的特殊要求以及扫描电镜的成像原理，瑞盛科技总结出一些优良SEM影像照片的拍摄要点。

  一、聚光镜电流的选择
    聚光镜电流的大小将直接影响电子束的亮度以及光斑直径的大小，也影响成像的分辨率和反差。在保证足够的观察条件、拍摄的亮度和反差的需要下，应尽量使聚光镜电流稍为大一些，以获取较小的电子束流探针直径，得到较高分辨率；但聚光镜电流又不可太大，太大则使电子束流能量太低，信号与噪声的强度比（信噪比）下降，影像也会平淡无力,缺少立体感。故聚光镜电流的调节应和亮度与反差相配合。
  二、亮度和反差的调节
    高反差能增加立体感，但却损失了许多细节，所以在保证较好反差的情况下，要调出足够的灰度等级。SEM上常设有亮度及反差的调节指示表。操作者可根据指示表去调整，参照自己观察对象的目的需要，适当地给予补偿。
    3.加速电压的选择
    加速电压的提高，纵然可以增大电子束的能量，提高信噪比和反差，这只是一个单方面的因素，从另一方面考虑，也会增加背散射电子的数目和电子束的穿透力,这样影像中物体边缘的锐利度会降低，也将使分辨力下降。 通常可以根据影像质量和拍摄需要进行选择。
    4.样品倾斜度和光阑孔径的选择
    样品台除可向X、Y方向移动外，还可以做一定量的倾斜。倾斜样品台等于让电子探针从侧面轰击样品，就象日常拍摄照片时一样，用侧光比用正面光能得到更好的立体感。但倾斜面的两侧不在同一平面上，倾斜太多则不好兼顾聚焦，会造成两侧模糊，同时也会损失一些细节。光阑孔小时，能提高反差，增大立体感和景深范围，但太小则损失能量多，光衍射增大，也会影响分辨率。
    5.消像散与聚焦
    存在像散时与聚焦不清是不一样的。聚焦不清则使像的四周呈现同等程度的模糊。像散则 为影像边缘沿某一方向被拉长，四周的模糊程度并不均匀。像散与聚焦对成像质量的影响同等重要。扫描电镜照片的拍摄要力求将像散消减到最小，聚焦达到最清晰。

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