氧气微氧分析仪应用于工业气体和高纯气体的生产过程中，气体中氧含量的监测是一个重要课题，必须要用氧气微氧分析仪进行测量。这是由于氧气是一种化学活性较强的物质，是一种氧化性最强的氧化剂。
在某些行业，人们需要它作为氧化剂时，就希望其纯度越高越好；反之，在另外一些行业，氧在其他气体中的存在又是一种有害物质，人们又希望氧的含量越少越好。因此，氧气微氧分析仪在各种气体中的含量测量范围都是一个倍受关注的问题。
通常氧含量的检测方法有很多种，但是根据气体标准中规定的标准检测氧含量的方法为化学法氧气微氧分析仪及电化学法氧气微氧分析仪。这是由于只有化学法及电化学法才能准确测定气体中氧含量数值。
有的单位使用气相色谱仪作为多种气体成分的检测方法，同时也可将多种气体中的氧含量检测出来。但是，必须指出，气相色谱仪检测得出的氧含量数值通常为氧和氩的加和数值（氩为载气的气相色谱仪除外），实际上并不单单是氧的数值。这是因为使用气相色谱分离方法在通常条件下难以分离氧和氩，所得的氧峰数据内已包含氩的含量。而若想完全分离氧和氩，在气相色谱分离方法方面是困难的，但不是不可行的。事实上，为了数据准确和操作方便，气体标准规定气体中氧含量检测应以化学法及电化学法氧气微氧分析仪为标准。
