标题电子级双氧水的颗粒管控浅议

双氧水也叫过氧化氢，过氧化氢是一种重要的化工原料，化学式为H²O²。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，可任意比例与水混溶，是一种强氧化剂，水溶液俗称双氧水，为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电解法、蒽醌法、异丙醇法、氧阴还原法和氢氧直接化合法等，蒽醌法是生产双氧水的主要方法，国内99%以上的双氧水装置采用该工艺。

双氧水的作用

双氧水根据浓度及应用域不同可分为电子、食品、工业等。电子双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。从行业产量来看，2021年我国高纯电子双氧水产量9.44万吨，同比增长32.0%。

双氧水的颗粒管控重要手段

电子双氧水属于湿电子化学品，技术壁垒较高。双氧水的颗粒管控也显得尤为重要。普洛帝测控门研发了针对双氧水的颗粒管控设备PMT-2。在双氧水生产企业已经得到广泛应用。