您的位置:首页 > 技术文献 > 技术交流 > 浅议电子级双氧水的颗粒管控
双氧水也叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要的化工原料,化学式为H2O2。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体,可任意比例与水混溶,是一种强氧化剂,水溶液俗称双氧水,为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电解法、蒽醌法、异丙醇法、氧阴还原法和氢氧直接化合法等,蒽醌法是生产双氧水的主要方法,国内99%以上的双氧水装置采用该工艺。
双氧水的作用
双氧水根据浓度及应用域不同可分为电子、食品、工业等。电子双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂,在半导体制程端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。从行业产量来看,2021年我国高纯电子双氧水产量9.44万吨,同比增长32.0%。
双氧水的颗粒管控重要手段
电子双氧水属于湿电子化学品,技术壁垒较高。双氧水的颗粒管控也显得尤为重要。普洛帝测控门研发了针对双氧水的颗粒管控设备PMT-2。在双氧水生产企业已经得到广泛应用。
关键词:粒子计数器
① 凡本网注明"来源:易推广"的所有作品,版权均属于易推广,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内
使用,并注明"来源:易推广"。违者本网将追究相关法律责任。② 本信息由注册会员:西安卡尔德工控技术有限公司 发布并且负责版权等法律责任。
易推广客服微信