标题电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

什么是电子硫酸？

电子硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。

电子硫酸有哪些应用？

电子硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒，无机残留物和碳沉积物。

为什么要对电子硫酸进行颗粒管控？

电子硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子硫酸是芯片制造工艺中用量大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到ppt（ppt=1ng/Kg=10-12）。