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技术文章
推送:供应光学3D表面轮廓仪的技术资料详细介绍#技术新闻
点击次数:27 发布时间:2023/7/14 13:53:32
推送:供应光学3D表面轮廓仪的技术资料详细介绍#技术新闻 http://www.app17.com/c141840/products/d9714794.html
技术指标
1.技术规格表
光源 | 白光LED | ||
影像系统 | 1024×1024 | ||
干涉物镜 | 2.5×,5×,10×,20×,50× | ||
光学ZOOM | 0.5×,0.75×,1× | ||
标准视场 | 0.49×0.49㎜ | ||
视场 | 6×6㎜ | ||
物镜塔台 | 3孔手动 | ||
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ | |
移动范围 | 140×100㎜ | ||
负载 | 10kg | ||
控制方式 | 电动 | ||
水平调整 | ±4.5°手动 | ||
Z轴 聚焦 | 行程 | 100㎜ | |
控制方式 | 电动 | ||
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | ||
Z向分辨率 | 0.1nm | ||
可测样品反射率 | 0.5%~100% | ||
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | ||
台阶测量 | 准确度 | 重复性 | |
0.75% | 一、 产品功能1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。 2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。 3) 测量中提供拼接测量功能。 4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。 5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。 6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
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原创作者:元丰技术(东莞)有限公司