主要功能
1) 大放大倍率15万倍
2) Top-View CCD 相机
- Navigation mode : 样品原图像抓取
- Click & Move (Auto)
3) Fully Motorzied Stage
- X,Y,R,Z,T - 5轴
- Recipe function : 分析位置储存后再分析功能
4) B Type : SE (二次电子) + BSE (背散射电子)
High + Low Vacuum Mode
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Table-SEM (台式扫描电子显微镜)
- Model : SNE-4500M Plus (Type : B)
1) Resolution
2) Magnification
3) Accelerating Voltage
4) Detector
5) Electron Gun
6) Lens system
7) Detector type
9) Image Shift
11) Frame memory
12) Navigation Mode
13) Recipe Function
14) Automation Funtion
15) Image Format
16) Data Display
17) Vacuum System
18) Operation system
: 5nm (30kV, SE Image)
: 15x ~ 150,000x
: 1 to 30kV (1/5/10/15/20/30 - 6step)
: 二次电子图像(SEI) - Secondary Electron Image
背散射电子图像(BSEI) - Back Scattered Elecron Image
: 坞灯丝, 韦氏帽更换方式
: 偏压系统 - 自动偏压系统
: Two-stage Elecromagnetic : Condenser Lens
One-stage Elecromagnetic : Objective Lens
: E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)
: 5-axis System (Fully Motorized Type)
- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°, Z : 0~40mm / Tilt-axis : -45~90°
- Navigation 画面及 SEM 软件画面 双击后 -> 移动
- Motor精密度 :≤ 3um
: X, Y Beam Shift (Max. 150㎛)
: 80mm(Diameter) / 40mm(Height), Max Height 50mm
: High Speed Mode (320*240) : 实时 Preview mode
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19) Contorl system
: SEM Control PC (Desk)
- OS : Microsoft Window 7, CPU : Intel CoreTM
- Memory / HDD : 4GB
/ 500GB or High version
- Monitor(LCD) : 22inch
20) Software
: 长度, 面积, 角度, 文本等 Mearsurement
: 可以对图像进行多种信息设置,可编辑视频 及数据文本
: 设置初始值, 图像测量模块, Archives, Setting(EDS)
: 储存的图像在分析功能 -> 明暗&亮度保证 及 Mearsurement 测定功能
21) Demension
: Main Unit------------ 390(W)×380(D)×560(H)mm (88kg)
: Controller Unit---390(W)×325(D)×560(H)mm (37kg)
: Rotary Pump------400(W)×160(D)×340(H)mm (24kg)