日立高分辨环境透射电镜

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型号：H-9500 原产地：日本发布时间：2019/4/8更新时间：2024/10/25

产品摘要：在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。为了满足这种高端需求，日立技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了*新的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

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原子分辨率300 kV透射电子显微镜

在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。
为了满足这种高端需求，日立技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了*新的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

用户友好型的操作系统

和Windows^®兼容的图形用户界面设计
快速的样品分析，1分钟换样，5分钟内升高压至(300 kV)
高稳定性，高分辨率透射电子显微镜

高稳定性，高分辨率透射电子显微镜

点分辨率为0.18 nm，晶格分辨率为0.1 nm
稳定可靠的5轴优中心测角台
性能优异，可靠性高

性能优异，可靠性高

得到市场验证的10级加速器电子枪设计
阻抗式高压电缆设计
高档可选附件

高档可选附件

通用样品杆，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用
可为原子分辨率的动态研究提供加热，冷却和气体注入等多种样品杆

备注：FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。

规格

项目		说明
分辨率		0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(点分辨率)
加速电压		300kV、200kV^1、100kV^1
放大倍率	连续放大模式	1,000～1,500,000×
	选区模式	4,000～500,000×
	低倍模式	200～500×
电子枪	灯丝	LaB₆(六硼化镧灯丝，直流加热)
	灯丝交换	自动升降式电子枪
	高压电缆	阻抗电缆
照射系统	透镜	四级透镜
	聚光镜光阑	4孔可变
	探针尺寸	微米束模式：0.05 - 0.2 μm(4级) 纳米束模式：1 - 10 nm(4级)
	电子束倾斜	±3°
成像系统	透镜	五级透镜
	聚焦	图像摇摆调整利用像散监视器进行正焦补偿聚焦优化
	物镜光阑	4孔可变光阑
	选区光阑	4孔可变光阑
电子衍射		选区电子衍射纳米探针电子衍射会聚束电子衍射
电子衍射	相机长度	250 - 3,000 mm
样品室	样品台	5轴优中心海帕测角台
	样品尺寸	3mmΦ
	样品位置追踪	X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通过CPU控制马达驱动
	样品位置显示	自动驱动，自动跟踪
	样品倾斜	α = ±15°, β = ±15° (日立双倾样品台^*2)
	防污染	冷阱
	烘烤功能	中温烘烤功能
观察室	荧光屏	主屏：110 mmΦ 聚焦屏：30 mmΦ
观察室	目镜	7.5×
照相室	区域选择	整张照相/半张曝光
照相室	胶片	25张(2套胶片盒)
图形用户界面		操作系统：Windows XP^®
	显示器	19英寸显示器
	功能	数据库，测量，图像处理
数码CCD 相机^*3	相机耦合	透镜耦合
	有效像素	1,024 × 1,024 像素
	A/D 分辨率	12位
真空系统	电子枪	离子泵：60 L/s
	镜筒	涡轮分子泵：260 L/s
	观察室/照相室	扩散泵：280 L/s 前级泵：135 L/min × 3台