* 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察

* 从低真空到大气压（数 Pa～10⁵ Pa），可在大范围压力下进行SEM观察

* 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能

* 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）

* 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性

* 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

概要

大气压观察（图1）

• （a）.样品设置在标准大气压环境下（10⁵ Pa）

• （b）.配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察

• （c）.而且，可通过附带的真空泵在负压下（约10³～10⁵ Pa）进行观察

低真空观察（图2）

• （a）.隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析

• （b）.搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器


图1：大气压或负压观察时               图2：低真空观察时

 

 

项目	内容
电子枪	预对中灯丝
检测系统	高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器
加速电压	5   kV/15 kV
倍率	×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000）
观察压力	大气压模式（105 Pa）（装有隔时）                                          负压模式（约103 Pa～105   Pa）（装有隔膜时）                              低真空模式（数Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时）
样品尺寸	直径55   mm
大小和重量	主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台）               控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg                      隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5   kg ×2台

 

1.含水再生纤维素纤维的干燥动态观察

样品提供：旭化成株式会社 乙部先生

* 将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分，然后在大气压下进行了观察。
* 首先观察到纤维之间的水分蒸发，然后是纤维内部的水分蒸发，并因此纤维本身收缩，*后是整个样品收缩的情景。
* 根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果，得出含水时膨胀30%，和含水时的纤维膨胀率。

2.ZEPTORON PP（聚丙烯纳米纤维）的经时观察

试样提供：Zepto Co., Ltd.

* 在疏水性优异的此样品中，可看到油渗入纤维内，水分不会渗入，所以可观察到水分在纤维上的情景。

3.植物领域

花粉

* 光学显微镜观察后，无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。

杜鹃花花粉

4.食品领域

味噌（自家制）

干燥的意大利面

* 在大气压下观察干燥的意大利面的表面后，在真空中观察同一样品，可观察到表面有大量裂纹。
* 推测是在真空环境下，样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏，即使是干燥的样品，如果想观察本来的形状，通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。

5.生物领域

大肠杆菌

* 大肠杆菌经过培养后，用纯水稀释，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后进行了观察（无染色）。