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技术文章
锦正茂多维磁场探针台的用途及技术参数
点击次数:61 发布时间:2021/10/20 11:38:34
产品概述:
北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台,采用无磁材料制成,采用亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却(磁场较小)或水冷结构(磁场较大),标配线圈过热保护装置。配合高精度双性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。您也可以在淘宝网页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速!
应用范围:
锦正茂三维磁场探针台 广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双性电源相匹配,通过真正的双性电源输出,实现了空间任意方向上的矢量场合成。您也可以在淘宝网页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速!
可选附件:
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升
þ 超高温升选件
þ 超高真空升选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 静音真空泵
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技术指标:
三维磁场探针台 | |||
型号 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材质 | 所选材料均为无磁材质 | ||
磁场范围 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
线圈材质 | 耐高温漆包线 | ||
磁场均匀性 | 中心区50毫米球体内1% | ||
电源稳定性 | 三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm | ||
磁场分辨率 | 0.05 mT | ||
角度分辨率 | 0.02° | ||
样品固定方式 | 吸盘或者压片 | ||
样品台直径 | 50mm可定制 | ||
显微镜 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm,可选加载激光 | ||
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | ||
探针臂数量 | 2、4可选 | ||
探针臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更换 | ||
探针臂移动精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可选 | ||
探针长度 | 38mm | ||
探针直径 | 0.51mm | ||
针尖直径 | 10μm/5μm/1μm | ||
探针材料 | 钨/铍铜/GGB | ||
漏电精度 | 100fA | ||
显微镜 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm,可选加载激光 |
原创作者:北京锦正茂科技有限公司