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技术文章
高低温真空探针台的技术参数
点击次数：76 发布时间：2021/11/24 16:01:04
产品概述：
锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。您也可以在淘宝网页搜索“锦正茂科技”，就能看到我们的企业店铺，联系更加方便快速！
应用范围：
锦正茂高低温真空探针台应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 防震桌
þ 多压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升选件
þ 超高真空升选件
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技术指标：
| 型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
| 制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
| 腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
| 真空度 | 真空上等高达10-8Pa | |
| 真空腔观察窗尺寸 | 2inch（可选） | |
| 控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
| 控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
| 温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
| 降温时间 | 40min | 150min内，视制冷机功率定 |
| 温度传感器 | 硅二管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个） | |
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | |
| 样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
| 样品台尺寸 | 直径20-50mm，可选100mm | |
| 样品台平整度 | ≤7μm | |
| 样品台固定方式 | 固定的样品台（可升随位移台移动） | |
| 样品台振动别 | ≤50纳米 | ≤1μm（三减震） |
| 探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
| 探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升±25mm),精度1μm（可选） | |
| 探针种类 | 钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针） | |
| 探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
| 显微镜行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm | |
| 电力需求 | 220V 50-60Hz | |
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作为北京高科技企业，锦正科技以现代高科技产业和传统产业为核心业务，对内承接科研生产任务，对外以商务平台方式实现军民两用技术成果转换，形成了科学管理的现代化经营模式，门从事物理、化学和材料等域的科学仪器研发、销售 各类型超低温测试设备（液氮 液氦）制冷机系统集成 ，定制 ，高低温真空磁场发生系统，Helmholtz线圈（全套解决方案），电磁铁（全系列支持定制），螺线管，电子枪（高稳定性双性磁铁恒流电源1ppm），高低温磁场真空探针台，霍尔测试系统，电输运测量解决方案，磁光克尔效应测量系统等产品种类齐全，性能可*，至已有近10余年的历史，是国内（较早）生产探针台，电输运，电磁铁的厂家。
原创作者：北京锦正茂科技有限公司
