主要技术指标：

※  温度范围：室温—350℃（硅片上边温度）

※  控温精度：±1℃

※  温度分辨率：0.1℃

※  样品尺寸：8英寸（需要有固定夹具，还有10mmx10mm,20mmx20mm样品也需要考虑单独固定）

※  样品温度：精圆上单独放一个温度计，测量精圆表面温度（温度计封装在镀金无氧铜块内，铜块与精圆 接触测温，使用比较细的软线方便移动与测量）

※  磁场强度：＞1000oe（样品测试处磁场）

※  持续工作时间：5小时

※  样品台尺寸：210mm （根据实际可更改，不小于8英寸），

※  样品台采用三维移动方式，移动行程:±110mm,移动精度：10um

※  样品台主要零部件材质均为优质无磁合金制作；

※  在室温到350度，升温速率优于10K/min，高加热温度350℃；控温精度：±1℃；

※  加热时，加热丝被封装在石英管内，大程度的减少由于加热丝的挥发造成样品表面附着物的污染；

※  匹配磁铁电源：双性，稳定度优于±25ppm/h，平滑过零无断点；

※  匹配电磁铁：长时间运行稳定度<±0.5Gs；

※  冷却方式：自然冷却。

软件1.1功能介绍：

※ 可以控制电流扫场，

※ 可以控制温度变化，

※ 可以输出电流测电压得到电阻，

※ 可以输出电压测电流得到电阻，

※ 测试程序需要输出数据及测试图，

※ 采集记录精圆处测量的数据

显微镜功能介绍H5608

※  采用积木式结构，平行光路光学系统；

※  0.6-5.0X连续变倍，1:8.3大变倍比。高分辨率、高对比度成像。重复定位；精度高，重复精度可达1um；

※  标配工作距离：86mm；

※  CCD接口可选：0.5X；

※  不同倍率辅助物镜倍率可选：0.3X-2.5X。

※  采用842万像素索尼新一代高动态范围CMOS 图像传感器；

※  采用1/1.8英寸图像传感器；

※  HDMI高4K 60帧图像输出；

※  支持拍照 ,JPG格式；

※  支持手动一键曝光

※  支持手动一键白平衡，红、绿、蓝可调；

※  提供8条画线功能，线条颜色、粗细，位置可调；

※  支持U盘存储；

※  支持鼠标操作；

※  拍照不抖动图像更清晰；

※  支持中/英/繁语言（默认英文）；

※  支持关机设置参数保存；

※  采用CNC精铣技术加工铝合金外壳；

设备配置

※  定制高温加热样品台：1

※  手动探针：4

※  定制高温控温仪：1  JH401

※  定制电磁铁：1  DZ-12

※  双性恒流电源：1   JCP-5/40SA

※  定制三维手动位移台：1   PT80-50

※  样品处温度传感器，及显示器：1  PT100-BO

※  定制软件： 1套

※  内置高斯计：1台

※  台式计算机：1台

※  显微镜：1套H5608