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1、泵内压力过大：当真空泵工作在较高真空范围时，如果泵体密封不良，泵内压力过大会导致油液通过密封处进入泵腔，进而发生漏油。
2、密封不良：真空泵的密封件如O型圈、密封垫等如果老化、损坏或安装不当，都可能导致泵体密封不严，油液从密封处渗出。同时，如果泵体与增压器、旋片或叶片、旋片与泵体之间，以及旋片与叶片之间的密封件未能正确安装或失效，也可能发生漏油。
3、泵油润滑不当：真空泵采用润滑油来润滑，如果油液过稀，容易通过密封处渗出；油液过浓，则可能无法流动到润滑部位，造成摩擦削损；油液中的脏物或水分也可能引起密封件膨胀、磨损或变形，进而引发漏油。

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各地的化学家都依赖并使用 Vacuum Services提供的各种真空技术和产品6、故障判断与诊断例举（1）真空泵不转

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4、装配问题：在真空泵的装配过程中，如果受到压装影响，油封可能会因此变形；装配中出现唇口处划伤也可能导致漏油。此外，油封弹簧的弹力不符合要求，会导致油封异常磨损，终发生漏油。
5、密封结构设计不合理：如果真空泵的密封结构设计不合理，那么在实际使用中可能因为设计缺陷导致泵体漏油。
6、使用条件不当：真空泵如果在使用过程中受到过大的振动或温度过高，可能会导致泵体部件松动或密封材料老化，进而引发漏油。
7、零部件损坏：真空泵的零部件如轴承、机械密封等如果损坏，也可能导致泵体漏油。
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